1. Grau de buit final de la cambra de gravat: inferior o igual a 9.0×10-5Pa;
2. Materials de gravat: silici, quars, compostos III.-V, ceràmica i metalls diversos, pel·lícules dures no metàl·liques, etc.;
3. Velocitat de gravat: superior o igual a 10 nm ~ 200 nm /min (segons el material i el procés de gravat específics);
4. Font d'ions: font d'ions DC circular de Φ150mm de diàmetre;
5. Interval d'energia d'ions Ar+: 100~1000 eV;
6. Densitat del feix d'ions: 0~1 mA/cm2.